什么叫压电(Piezo)?

何谓压电?

压电表示压电元件(Piezoelectric Element、Piezoelectric Device),压电元件是指通过施加力(压力)产生电压(压电效应),或与之相反,通过施加电压产生变形(逆压电效应)的元件。

压电的效果

压电的效果

压电元件使用具有压电效应的压电材料。施力时,(+)正离子、(-)负离子的位置会移动,产生(+)和(-)电荷的偏移(电极化),从而产生电压。

电极化的原理 通过电极化产生电压

利用压电效应的主要用途是传感器,利用逆压电效应的主要用途是执行机构。

压电材料的种类

压电材料大致分为单晶、陶瓷、薄膜等。

压电材料的种类

压电的材料

罗姆采用的是使用锆钛酸铅(PZT)的薄膜压电。
PTZ取自元素符号(PbZrxTi1-xO3)(0<x<1)的首字母,压电性能非常强,称得上是压电元件的主角。

薄膜压电和块体压电

大致将厚度约为几μm的叫作薄膜压电(压电薄膜),几十μm以上的叫作块体压电(厚膜压电)。
利用薄膜压电可以实现元件的小型化、集成化、高精度化、低功耗化。

薄膜PZT的成膜方法

生成薄膜PZT的方法有溶胶凝胶法、溅射法、MOCVD法等。下表汇总了其各自的特点。

薄膜PZT的成膜方法

文章来源:罗姆官网