除了硅，还有结合了第III组和第V组元素以及第II组和第VI组元素的化合物半导体。例如，GaAs（砷化镓）、InP（磷化铟）、InGaAlP（磷化铝镓铟）等通常用于高频器件和光学器件。
近年来，InGaN（氮化铟镓）作为蓝光LED和激光二极管的材料引起了人们的广泛关注，SiC（碳化硅）和GaN（氮化镓）作为功率半导体材料也得到了一定程度上的关注和商业化。
典型的化合物半导体
第Ⅱ-Ⅵ组：ZnSe
第Ⅲ-Ⅴ组：GaAs，GaN，InP，InGaAlP，InGaN
第Ⅳ-Ⅳ组：SiC，SiGe
文章来源：东芝半导体