MEMS

【科普】何谓MEMS?

MEMS是Micro Electro Mechanical Systems(微机电系统)的缩写,具有微小的立体结构(三维结构),是处理各种输入、输出信号的系统的统称。是利用微细加工技术,将机械零零件、电子电路、传感器、执行机构集成在一块电路板上的高附加值元件。

MEMS气体传感器的设计与工艺

MEMS技术的进步,为气体传感器的集成化提供了坚实的基础,毋庸置疑,基于MEMS的设计方案将成为未来气体传感器的主要发展方向之一。目前,市场上以单晶硅材料为衬底,非硅材料为敏感层的MEMS气体传感器最为常见,今天就给大家介绍一下市场上常见的MEMS气体传感器类型。

MEMS元器件是如何进行封装的?

MEMS器件的封装形式是把基于MEMS的系统方案推向市场的关键因素。研究发现,当今基于MEMS的典型产品中,封装成本几乎占去了所有物料和组装成本的20%~40%。

解读MEMS麦克风技术与设计

现在,MEMS麦克风不仅能够记录普通的环境声音,还具备立体声、主动降噪、指向性(聚束)、语音识别等功能。增加设备的麦克风数量即可实现这些音频功能,例如最新智能手机中的MEMS麦克风可多达6个。出色的性能使MEMS麦克风应用范围广,因而产生了大量的市场需求。

MEMS姿态传感器在车联网汽车主动安全系统中的应用

车联网是物联网发展的重大领域,智能网联汽车是车联网的核心,正处于高速发展中。汽车是一个复杂而庞大的科技载体,因为其庞大的市场体量吸引了各类技术的投入。在车联网中,车用传感器技术是车联网集成的关键技术,同时,也是一项很基础的支撑技术。

MEMS应用需求各异,压电MEMS开辟新疆域

受到多种MEMS产品的应用驱动,如压力传感器(例如胎压监测系统)、射频器件(例如5G通信和车联网)、惯性传感器(例如高级驾驶辅助系统和自动驾驶汽车)和新兴MEMS器件(例如用于指纹识别的压电MEMS超声波换能器)等,预计MEMS市场将在2019年至2024年期间实现显著增长

利用MEMS进行建筑物健康监控

村田MEMS传感器系列提供了多种产品选择,既有最高精度和稳定性的产品,也有低功耗但精确度足以监测建筑物健康微小变化的解决方案。  

MEMS器件最常见的四大分类

MEMS器件体积小,重量轻,耗能低,惯性小,谐振频率高,响应时间短。MEMS系统与一般的机械系统相比,不仅体积缩小,而且在力学原理和运动学原理,材料特性、加工、测量和控制等方面都将发生变化